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半导体行业产生的特种气体有哪些(半导体特种气体种类)

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半导体属于高新技术产业,往往被误解为“清洁”产业,但事实上,在清洗、光刻、去胶、烘干等工艺中需使用大量的酸、碱及有机溶剂和多种特殊气体,整个生产过程三废产量大、种类多。半导体工业用气体具有品种多、质量要求高、用量少等特点,大部分是有毒或腐蚀性气体,品种高达百余种。本文将介绍半导体行业产生的特种气体有哪些?

半导体特种气体种类

半导体工业特种气体按照应用分类,主要包括:

1、硅族气体:含硅基的硅烷类,如硅烷(SiH4)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、乙硅烷(Si2H6)等。

2、掺杂气体:含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体,如三氯化硼(BCl3)、三氟化硼(BF3)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)等。

3、蚀刻清洗气体:以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主,如氯气(Cl2)、三氟化氮(NF3)、溴化氢(HBr)、四氟化碳(CF4)、六氟乙烷(C2F6)等

4、反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,如二氧化碳(CO2)、氨(NH3)、氧化亚氮(N2O)等。

5、金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六氟化钨(WF6)、三甲基镓(Ga(CH3)3)等。

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