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半导体有机排气成分有哪些(废气种类介绍)

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半导体有机排气是半导体制造过程中产生的一种废气。那么,半导体有机排气成分有哪些?本文为您提供的是半导体有机废气种类介绍。

半导体有机排气成分有哪些

半导体有机排气成分如下:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在制程工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放,主体是VOCs,其废气的成分主要是非甲烷总烃。

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