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半导体特气有哪些(半导体行业特种气体分类)

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半导体特气在半导体制造过程中起着非常重要的作用,对于器件的性能和稳定性有着重要影响。那么,半导体特气有哪些?

半导体行业特种气体分类

  1. 硅族气体:含硅基的硅烷类,如硅烷、二氯二氢硅等。
  2. 掺杂气体:含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体。
  3. 蚀刻清洗气体:含卤素的卤化物及卤碳化合物。
  4. 反应气体:以碳系及氮系氧化物为主。
  5. 金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属。

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