4556银河国际(在线VIP平台)官网-APP platform

当前位置:主页 > 行业资讯 > 本文

硅烷气体怎么处理(半导体硅烷废气处理方式及工艺流程)

环保领域专家
  • 银河国际网址4556在线平台
  • 擅长:14年废气治理经验,提供方案及设备,助力企业废气达标排放

硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更g级的硅氢化合物,通式为SinH2n+2。其中,甲硅烷z为常见,有时也将甲硅烷简称为硅烷。那么你知道硅烷气体怎么处理吗?硅烷废气处理方式方法有哪些吗?工艺流程。下面4556银河国际在线为您做简单介绍:

硅烷废气处理方法

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,反应性和自燃性强烈,有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,毒性很大,如果人体吸入硅烷就会强烈刺激呼吸器官,是一种高危险性的气体。

在半导体工厂中,因工作区域一般离中心废气处理系统远,为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积等问题,硅烷(SiH4)废气从无尘室机台端(POU)反应被排放出后,即先由真空Pump抽z废气处理设备Local Scrubber做处理,待处理过后的气体再接续到厂务端做第二道处置。

Local Scrubber

(4556银河国际在线Local Scrubber设备)

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负极强电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。优势在于去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低; 处理高沸点废气,应用范围广; 高温、反应速度快, 设备占地面积小、便于安装;

 

以上就是《硅烷气体怎么处理?半导体硅烷废气处理方式及工艺流程》的全部内容。4556银河国际在线专注半导体废气处理19年,zhi今服务于中芯国际、中芯北方、中芯南方、中芯绍兴、集电控股、积塔、有研、华虹、燕东微电子等半导体企业,中芯系覆盖70%以上,拥有众多半导体废气治理案例。如您有半导体废气处理需求,即刻联系我们吧!


提示:本网部分已发布的信息内容可能存在过时,请注意辨别。部分内容整理为互联网/转载官方发布,相关信息仅为传递更多信息之目的,不代表本网观点,不拥有所有权。如有侵权联系删除。

硅烷燃烧塔工作原理(硅烷燃烧塔操作及维护注意事项)

硅烷燃烧塔通常采用优质不锈钢原料进行制造,根据硅烷与空气接触而自燃的特点,使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧,燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室,经过喷雾处理,使废气与中...

光伏硅烷废气怎么处理(2种光伏硅烷废气处理方法)

光伏硅烷即硅烷,是一种无色、易燃、有毒的氮氧化物,其蒸气遇光会分解。遇火燃烧时会发出黄色火焰,并放出有毒的二氧化氮烟雾。那么光伏硅烷废气怎么处理?...

太阳能硅烷废气处理设备(价格厂家公司)

太阳能硅烷废气处理设备主要用于处理太阳能电池生产线行业以及pecvd化学气相沉淀工艺所产生的废气。下面为您介绍的是太阳能硅烷废气处理设备及价格厂家公司。...

XML 地图